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N7748C 光功率計作為配有前面板傳感器的緊湊型儀器,提供了更出色的測量準(zhǔn)確度和靈敏度。 作為 N7748A 的后續(xù)產(chǎn)品和直接替代產(chǎn)品,它延續(xù)了 81634B 模塊的光學(xué)性能。
KLA-Tencor Spectra-Shape 8660 光學(xué)計量儀是一種先進的半導(dǎo)體晶圓測試和計量設(shè)備,主要用于精確測量半導(dǎo)體晶圓的特征尺寸和形狀。該系統(tǒng)采用光學(xué)技術(shù),能夠?qū)χ睆竭_300毫米的晶圓進行高精度的CD(Critical Dimension)測量和形狀測量。
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